显示面板加药泵：TFT-LCD湿法制程显影/蚀刻/剥膜药液定量供给方案

• Array制程显影/蚀刻/剥膜三道工序的NaOH显影液、盐酸/硝酸蚀刻液、高浓度NaOH脱膜液，都需要定量供给。

• 选型框架：药液特性定材质，流量定档位，自动化水平定控制方式。

• 混酸蚀刻只考虑全PTFE（PTF）或PVDF泵头；碱液用PVT或PPV，高洁净度要求统一升级PTFE。

• DM接受0/4–20mA信号，可与pH变送控制器闭环；DC走RS485总线，最多同时控制128台。

本文只讲TFT-LCD Array制程段三类药液的投加选型，不涉及晶圆湿法、PCB蚀刻与Cell段、模组段，写给面板厂湿法设备工程师和加药设备集成商。显示面板加药泵的任务，是把三种药液按工艺流量稳定、洁净地送入湿法槽。

显影、蚀刻、剥膜三类药液的投加要求有什么不同？

结论先行：显影看浓度稳定，蚀刻看耐腐蚀与洁净度，剥膜看流量余量。

显影用NaOH水溶液溶解未曝光的光刻胶，浓度波动影响线宽；蚀刻用浓盐酸/浓硝酸混合酸腐蚀ITO膜，金属离子析出会污染基板；剥膜用高浓度NaOH脱膜液，用量更大。面板湿法药液投加归纳为“三维选型框架”：药液特性定材质，流量定档位，自动化水平定控制方式。

NaOH显影液投加为什么优先选DM系列？

结论先行：显影决定TFT线宽，投加量须跟随浓度信号自动调节，DM闭环最合适。

新道茨DM系列是接受0/4–20mA模拟信号控制冲程频率的电磁隔膜计量泵，支持正反比例调节与两点频率设定。ARK82型pH变送控制器（pH 0–14，输出4–20mA与RS485）信号直连泵体。新道茨DFD系列是手动调节冲程频率的电磁隔膜计量泵，适合调试与小批量补加。DM-GX覆盖6–55L/h，吸程3m；显影液泵头选PVT或PVDF。

盐酸/硝酸ITO蚀刻液的泵头材质怎么选？

结论先行：混酸只考虑PTF（全PTFE）或PVDF，金属泵头一律排除。

PTF为全PTFE泵头、陶瓷阀球、PTFE密封件，耐腐蚀等级最高；PVDF耐酸碱、成本更低；SST（SS316）在混酸面前不适用。PTF过流部件不含金属，从源头避免离子污染。显影与剥膜用碱液可选PVT或PPV泵头（PTFE膜片、陶瓷阀球），高洁净度要求时统一升级PTFE。

高浓度NaOH脱膜液选型要避开哪些坑？

结论先行：流量档位留余量，泵头选PPV或PVDF，泵尽量靠近储桶。

型号组合	流量/压力/频率/功率
DFD-06-16-GX / DM-06-16-GX	6L/h / 16Bar / 200spm / 60W
DFD-23-05-GX / DM-23-05-GX	23L/h / 5Bar / 200spm / 60W
DFD-33-03-GX / DM-33-03-GX	33L/h / 3Bar / 200spm / 60W
DFD-55-0.1-GX / DM-55-0.1-GX	55L/h / 0.1Bar / 240spm / 60W

DFD-GX系列最大流量可达55L/h，按1.2倍余量选档位。PPV泵头耐碱、经济，密封圈可在EPDM、PTFE、AFLAS之间选。DFD-GX吸程3m，泵装在储桶旁低位，避免气缚。切换药液或长期停用前用清水循环10–20分钟清洗，每6个月检查一次泵头与部件。

显示面板加药泵的控制方式怎么配：DFD、DP、DM还是DC？

结论先行：调试用DFD，联动用DP，闭环用DM，集控用DC，可混搭。

控制方式	信号与操作
DFD	手动调节冲程频率
DP	外部脉冲信号，分频/倍频
DM	0/4–20mA模拟信号，正反比例
DC	RS485通讯，Modbus RTU

DP可直接接受产线脉冲信号，手动/自动可切换，带液位开关接口。DC通讯为Modbus RTU协议、9600波特率，触摸屏系统最多同时控制128台。选型示例：DM-12-07-LM-PVT-A表示排量12L/h、压力7bar、电流信号控制、PVC泵头、230V 50Hz。四个系列统一为IP55、防腐塑料外壳、220VAC 50Hz，整机质保1年。

结论

显示面板加药泵选型抓住“三维选型框架”：药液特性定材质（混酸用PTF或PVDF，碱液用PVT、PPV或PVDF），流量定档位（GX四档覆盖6–55L/h），自动化水平定控制方式（DFD手动、DP脉冲、DM信号、DC总线）。显影优先DM闭环，蚀刻兼顾腐蚀与洁净，脱膜注意余量与位置。具体投加量以现场小试为准。

常见问题

Q1：三种药液能共用一台泵吗？

不建议。每种药液独立配一台显示面板计量泵，材质按腐蚀性单独选，避免交叉污染。

Q2：PVDF与全PTFE泵头怎么取舍？

极高洁净度的ITO线选全PTFE（PTF）；常规工况选PVDF。

Q3：DM一定要配PLC吗？

不需要。pH变送控制器等信号源直连泵体即可。

Q4：吐出量不稳或吸不上液怎么办？

清洗单向阀与过滤器、排除气泡；吸不上液把泵移到储桶旁低位；泵头松动按规定力矩拧紧，膜片损坏则更换。

Q5：DFD以后升级DM麻烦吗？

不麻烦。同档位参数对应，管路不用大改，接信号线并做好两点设定即可。

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